Radiant PiezoMEMS薄膜压电分析仪

脉冲响应、阻抗分析和共振表征等***工程工具必须与传统的极化、压电、热释电和磁电测量相结合。为了控制包含了嵌入式铁电电容器的电路，异步或半同步数字和模拟功能必须独立于或与晶体时钟控制的铁电测量并行运行。与嵌入式控制器和定制数字电路的通信至关重要。这些需求需要一个***复杂的测试环境。

Radiant公司的精密压电分析仪PiezoMEM将数字、模拟和通信电路功能与已有的测量非线性铁电材料的测试仪Multiferroic的测量功能相结合，所有这些功能都由Radiant的Vision可编程测试环境进行监测。PiezoMEMS分析仪不仅可测量致动器和传感器元件的压电特性，还将与产品的电子逻辑进行通信，与嵌入式微处理器进行通信，提供异步电压和脉冲，并测量传感器频率。

Radiant提供了多种不同的薄膜压电测试装置，可准确确定压电薄膜的系数。这些工具能够在产品开发和制造过程中对压电薄膜进行表征和控制。

Radiant压电测试仪结合Polytec激光测振仪可***测量悬臂梁和薄膜上沉积或固定在基板上的压电薄膜的压电系数（d33）。

Radiant的PiezoMEMS压电分析仪、Multiferroic II和Precision LCII测试仪使用18位ADC，每位分辨率为76μV，单次通过的噪声下限约为300?V。

Radiant测测试系统结合了干涉仪，在d33压电运动时可以达到0.2微米（0.02nm）的分辨率。

薄膜压电测试仪选配高低温箱，在单个测试中，温度范围可从-196℃到600℃。

系统组成

1. Radiant PiezoMEMS薄膜压电分析仪；

2. 激光测振仪，精度0.3 ?ngstroms，频宽2MHz;

3. ***的压电软件-***的压电学软件执行自动测试，并为压电薄膜或压电MEM提供干净的位移测量。该软件可以配置为不同的测量，并在触摸按钮时生成多个绘图。它校正了测试台漂移的多次测量值，然后平均/平滑测量值，以校正高频和低频噪声。