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亚纳米高负载压电扫描台SH30.xyz.C系列
- 品牌:卓立汉光
- 货号:
- 产地:通州区
- 供应商报价: 面议
- 北京卓立汉光仪器有限公司 更新时间:2024-07-17 13:12:03
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
- 同类产品常温压电位移台(15件)
联系方式:市场部138-10146393
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- 详细介绍
- 特点:• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um• 外形尺寸,160mmx160 mmx 35 mm• 闭环分辨率优于0.3nm• ZD负载 10 kg• 支持高真空 (HV)和超高真空(UHV) 选件升级选型表
型号
SH30.xyz.0 /.C
运动方向
X ,Y ,Z 方向
底面尺寸×高度(mm)
160×160×35
主体材料
不锈钢
自重(g)
4000
运动行程(um)
30×30×15
运动分辨率(nm)
0.1(开环) 0.3(闭环)
运动可重复精度(闭环)(nm)
<3
偏摆角度(urad)
20/ 20 / 50
共振频率 (空载)(Hz)
50
ZD负载(kg)
10
闭环传感器(闭环版本)
电容式
驱动电压(V)
150
推荐使用温度
-20 ~ 80 °C
亚纳米高负载压电扫描台SH30.xyz.C系列尺寸图
- 主要用途