IONOPTIKA C60-40 离子源系统

简介：

60-40是目前性能较高的C60光束，具有300纳米的光斑尺寸和高达1毫安的束流。

从生物医学应用到聚合物科学和冶金，C60-40都可以做到这  一点。得益于与其他C60离子束相同的均匀溅射，但由于更高 的束能量，C60-40具有难以置信的精细斑点和更高的蚀刻率，是一种用于广泛应用的极其强大的分析工具。 

C60-40是一款出色的全能型产品，Ionoptika销售的每台J105SIMS仪器中都包含C60-40。

主要参数：

特点:  

◇  用于 SIMS 分析的出色的全部方位离子束；

◇  小光斑尺寸可达 300 nm；

◇  电流高达 1 nA；

◇  Wien滤波器，用于在直流和脉冲操作过程中进行质量滤波；

◇  提供快速脉冲、脉冲串、光栅和二次电子检测功能；

◇  闸阀，便于快速维修     

应用技术： 

下图显示了C60-40在正离子模式下获得的半导体堆栈的3D SIMS图像。样品由InSb、Al和GaAs层组成，覆盖在保护性光刻胶层中。

这种软有机、无机和硬金属层的结合对于大多数其他离子束来说是极其困难的。C60-40是这一棘手应用的理想选择，因 为它在不同材料上具有一致的溅射速率。C60-40与300  nm的光斑尺寸相结合，是一种强大的光束，无论您使用何种类型的样品，都能在2D和3D中提供较高分辨率。