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大口径高温高压芯片退火管式炉
- 品牌：合肥康帕因
- 型号： LFT1200C 450D254
- 产地：合肥
- 供应商报价： 面议
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合肥康帕因设备技术有限公司
更新时间：2024-06-18 09:44:47 -
企业性质生产商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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- 详细介绍
产品简介：
大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸（最大尺寸为8英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，保温性能好，电阻丝为内嵌式一体成型，美观、节能；该设备还集成了真空以及供气系统，满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管，满足高温工作条件，也能满足真空或者一定的正压条件实验要求，是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。
技术参数：
型号
LFT1200C 450D254
额定功率
13KW
额定电压
380V
最高温度
1000℃
额定温度
900℃
推荐升温速率
10℃/min
炉管尺寸
（可根据客户要求订制）
内径245*600mm（含管堵）
外型尺寸（长×深×高）
1900*700*2100mm
控温精度
±1℃
极限真空度（选件）
1.0×10-3Pa（机械泵+分子泵）
加热元件
OCr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金）
重量
490公斤
客户自配装空气开关
40A
流量控制器技术参数：
连接头类型：Φ6双卡套接头
流量规格： （1000,1000，1000,1000，）sccm ，具体气体量程 可根据工艺要求配置
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec 电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
耐压：3MPa
输入输出信号：0 V ~ +5.00 V（输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA）
电源：+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作环境温度:5 ℃ ~ 45 ℃- 产品优势
- 大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸（Z大尺寸为8英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，保温性能好，电阻丝为内嵌式一体成型，美观、节能；该设备还集成了真空以及供气系统，满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管，满足高温工作条件，也能满足真空或者一定的正压条件实验要求，是一款洁净的大尺寸样品热处理设备
| 仪器分类: | 管式炉 | 内部尺寸: | 内径245*600mm（含管堵） |
| 稳定性: | 控温精度±1℃ | 最高温度: | 1000℃ |
