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自动对焦3D形状高精度测量机

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详细介绍

自动对焦3D形状高精度测量机

● 更新设计的MLP系列产品是搭载有高速旋转载台及自动对焦功能的标准机型。

● 具有3D测量和评估功能,可以无损无破坏的测量多种产品的形状、表面形貌、表面粗糙度、轮廓/尺寸评估、齿轮测量(选配)、刀具刃口评价(选配)

● 高精度的大测量范围。


自动对焦3D形状高精度测量机

移动范围(X,Y,Z,AF(R),AZ(θ))

X:60 x Y:60 x Z:60mm

AF(R) 40mm

AZ(θ) 360

X-Y 轴分辨率——0.1um

Z 轴分辨率——0.1um

R 轴分辨率——0.01um

激光点直径——1um

激光——半导体激光(o/p:1mW Max. λ= 635nm)



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