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LBIC-S1光电流 IV/IT/ 成像测试系统

联系方式:何先生021-61052039

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详细介绍

产品简介

微纳光电成像测试系统是一种利用显微成像手段,通过不同波长激光进行探测,分析表征光电子器件的短路电流分布,表面缺陷, 反射率等参数。并通过扫描获得的图像,分析各种参数的平面均匀性,为光电器件的结构优化提供参考。激光通由显微镜聚焦到样品表面,激光激发样品产生光电流,光电流信号通过探针引出至电流源表,再通过软件读出。扫描时,通过电动位移台的移动,激光的光斑在样品的 XY 方向上扫描移动, 软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应的电流值,在软件上同步描绘出光电流成像图,显示了样品的电流分布。

技术参数

激光器(光源)标配532nm激光器,能量稳定性1%@4小时
显微镜模块反射式/透射式LED照明

物镜:标配(20X, WD=7.5mm) 超长工作距离 ,扫描范围:260 x 200 μm (20x物镜下) 位置重复性:小于1 μm

扫描步长:0.2μm  激光光斑:2μm

数据采集电流源表:Keithley 2450

测量范围:1nA ・ 1A 暗噪声:50pA 分辨率:20fA

探针台模块直径65mm真空吸附卡盘 探针座和样品整体二维移动,样品位置单独二维移动,样品位置移动行程25mm,分辨率5μm 探针座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm 探针:钨针,直径5μm,10μm,20μm可选
软件光电流扫描(Mapping):可以设定固定的电压,逐点获取电流值

I-V曲线扫描(Mapping):可以设定指定的电压区间,逐点获取I-V曲线 指定区域扫描(Mapping)

光谱响应度测试(选配)光谱范围200-1100nm,可以扩展到2500nm

光谱响应度曲线 量子效率曲线 偏压设置功能

激光器(选项)波长:405nm或者635nm可选,其他波长咨询销售

能量稳定性:小于1%@2个小时 功率:10mW和30mW(可选)

测试案例:

     


产品优势
微纳光电成像测试系统是一种利用显微成像手段,通过不同波长激光进行探测,分析表征光电子器件的短路电流分布,表面缺陷, 反射率等参数。并通过扫描获得的图像,分析各种参数的平面均匀性,为光电器件的结构优化提供参考。激光通由显微镜聚焦到样品表面,激光激发样品产生光电流,光电流信号通过探针引出至电流源表,再通过软件读出。扫描时,通过电动位移台的移动,激光的光斑在样品的 XY 方向上扫描移动, 软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应的电流值,在软件上同步描绘出光电流成像图,显示了样品的电流分布。

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