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中科光电URE-2000/30D 型(定制)紫外光刻机
- 品牌:中科院
- 型号: URE-2000/30D
- 产地:成都
- 供应商报价: ¥ 490000
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间:2024-08-13 14:47:08
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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联系方式:廖敬强0755-81776600
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- 详细介绍
URE-2000/30D型(定制)紫外光刻机
1.技术参数
曝光面积:4 英寸
曝光波长 1:365nm 或 405nm(可切换,更换滤光片),
曝光波长 2:248nm
曝光位置 1 和曝光位置 2 自动切换
分辨力:0.8-1m
掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(标准配置,其他尺寸可定做)
样片尺寸:直径 Φ10mm-- Φ100mm 或者 15mm*15mm-100mm*100mm(标准配置,其他尺寸可定 做),可适应厚度为 0.1mm--5mm(utmost可扩展为 15mm)
曝光方式:定时(倒 计时方式)
具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
照明不均匀性:3%(Φ100mm 范围)
调平接触压力通过传感器保证重复
数字设定对准间隙和曝光间隙
掩模相对于样片运动行程: X: 优于±5mm; Y: 优于±5mm;
优于±6º
utmost焦厚:400um(SU8 胶,用户提供检测条件)
光源平行性:<3º
曝光能量密度 1:>20mW/cm²(365 或 405nm),照明面温度<35º
曝光能量密度 2:>3mw/cm²(248nm)
单层曝光一键完成
采用球气浮自动找平
汞灯功率:350W(直流,进口汞灯)
2.外形尺寸:约 1400mm(长)*900mm(宽) *1800mm(高)
3.配置 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设 备构成。
- 产品优势
- 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能