-
-
QuickOCT-4D —膜厚轮廓仪
- 品牌:Opto Alignment
- 型号: QuickOCT-4D
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
-
岱美仪器技术服务(上海)有限公司
更新时间:2024-08-07 14:35:12
-
企业性质生产商
入驻年限第1年
营业执照已审核
- 同类产品彩色共聚焦轮廓仪(4件)
联系方式:卜新萍400-852-9632
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
-
为您推荐
- QuickOCT-4D —膜厚轮廓仪 核心参数
- 详细介绍
产品介绍:
QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合,可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高达 100μm)和轴向分辨率 (5nm) 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。
系统特点
· 紧凑的台式装置,带环境外壳
· 单点、非接触式、可见光、光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器,测量速率高达 66 kHz
· 针对测量高反射材料上多层透明薄膜的形貌和厚度进行了优化
· 纳米编码的 X/Y/Z 运动,带有磁性直线电机和交叉滚子轴承,可在 100mm (X)、100mm (Y)、50mm (Z) 上快速光栅或螺旋扫描
· 可用于样品和托盘固定的真空吸盘
· 用户友好的 CalcuSurf-4D™ 配方生成、数据采集、表面形貌和多层薄膜分析软件允许优化测量采样密度,从而在蕞高通量下实现蕞佳覆盖
SD-OCT技术概述
- 产品优势
- QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合,可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高达 100μm)和轴向分辨率 (5nm) 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。
仪器分类: | 接触式 |