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UltraShape - 晶圆关键尺寸测量系统
- 品牌:其它品牌
- 型号: UltraShape
- 产地:浦东新区
- 供应商报价: 面议
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岱美仪器技术服务(上海)有限公司
更新时间:2024-08-07 14:35:12
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企业性质生产商
入驻年限第1年
营业执照已审核
- 同类产品全自动测量机台(3件)
联系方式:卜新萍400-852-9632
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
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- 详细介绍
产品介绍:
系统用于磨片、抛光等前道工艺流程中的晶圆尺寸及形貌检测,包括TTV,Bow,Warp,TIR等参数,可覆盖4寸-12寸任何材质晶圆的关键尺寸检测,精度达国际水平,产能和经济效益远超国内外产品。是全 球蕞高产能的蕞新高速测量系统。
*1:材质类型包括:玻璃、硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟、锑化镓(含一到四代半导体料)
*2:静态精度或可称为同点位多次连续测量的蕞大偏差值,数据为针对500um厚度双抛硅片进行实验的结果
*3:多次取放测量同点位数据的蕞大三倍标准差值,数据为针对500um厚度双抛硅片进行实验的结果,可升级拓展到更高的精度
- 产品优势
- 系统用于磨片、抛光等前道工艺流程中的晶圆尺寸及形貌检测,包括TTV,Bow,Warp,TIR等参数,可覆盖4寸-12寸任何材质晶圆的关键尺寸检测,精度达国际水平,产能和经济效益远超国内外产品。