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气体稀释校准仪

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详细介绍

性能参数:

稀释入口:1路标准;

源气入口:4路标准,1路吹扫;

稀释流量:0-10SLM(0-20SLM可选);

源气流量:0-100SCCM/0-10000SCCM;

流量精度:≤±1%FS;

流量重复:≤±0.15%FS;

线    性:≤±0.5%FS;

入口压力:20-35 PSIG;

内置臭氧发生器参数:

输出:5SLPM0.05-1.5ppm

精度:1%SP5SLPM2ppb

流量:100±1 SCCM

紫外灯温度:50±0.1℃。

 

内置紫外吸收光度计参数:

量程:0-0.51.02.0ppm

线性:±1ppb±1%FS

精度:±1ppb

零点漂移:<±1ppb/24小时或30天;

流速:1.0 LPM

模拟输出:0-0.1/1/5V

 

内置稀释炉参数:

材质:玻璃或特氟龙;

尺寸:1个稀释管;

可调温度:高于环境温度5度到65度;

温度精度:<±0.1℃;

操作:55个按键,键盘或串行端口;

校准定义:20个工厂定义流路;

校准类型:气体稀释,臭氧,GPT

气体定义:2个稀释气,20个源气;

自动校准:20个程序驱动定时,

 7天事件,用户可自定义;

数字输入/输出:24位标准输出;

输出类型:触点触发或TTL逻辑;

通讯:RS232,或以太网TCP/IP

多路输出:标准6个输出口;

温    度:5-40℃;

外形尺寸:222mm(H)×432mm(W)×508 mm (D);

重    量:18.1kg;

电    源:140-300VAC,50/60HZ;

集成可选:内置臭氧发生器,紫外吸收光度计。

 


产品优势
稀释气质量流量计可控制到0-10SLM;
源气质量流量计可控制到0-100SCCM;
4路校准气入口和1路吹扫口;
1路稀释气入口,5路输出口和1路排空口;
55个按键薄膜键盘;
24位数字输入/输出,
2路串行通讯输出,RS232输出;
大而明亮的彩色显示器;
外部PC键盘接入端口;
并行打印端口;
空气源控制端口。
产品直通车
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