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PSM等离子体质量和能量分析质谱仪
- 品牌:Hiden Analytical
- 型号: PSM
- 产地:英国
- 供应商报价: 面议
- 北京英格海德分析技术有限公司 更新时间:2021-12-23 16:54:49
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企业性质授权代理商
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品等离子体-材料表面(18件)
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- 详细介绍
产品简介
PSM等离子体质量和能量分析质谱仪
PSM是一台差式泵质谱仪(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。
技术参数
灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆
质量数范围: 0 ~ 2500amu
脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围
能量分析选件,标准 ±100eV(1000eV可选 )
Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选, 高压操作可选
通过RS232、RS485或Ethernet LAN ,软件MASsoft 控制- 产品优势
- 1.差式泵歧管,通过法兰与过程反应室连接;
2.电子附着选件,具有可调谐的离子源,用于表观电势MS;
3.Penning规和互锁装置可提供过压保护;
4.信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间;
5.标准分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 离子分析可选 。
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