日本ULVAC油旋片式真空泵/膜片型干式真空泵/涡旋型干式真空泵

技术参数：

■油旋片式真空泵

型式 排气速度L/min 到达压力Pa
GLD-051 50 6.7×10-2
GLD-136A 135 6.7×10-2
GLD-201A 200 6.7×10-2
GHD-030 30 6.7×10-2
G-100D 120 6.7×10-2
GVD-050A 50 6.7×10-2

特点：高性能型，极限真空度低
适用范围：科学与化学实验、分析仪器，真空干燥系统，冷冻干燥系统，溅射系统与蒸发系统，涡轮分子泵或低温泵的前级泵


■膜片型干式真空泵

型式 排气速度L/min 到达压力Pa
DA-20D 20 5.3×103
DA-40S 40 19.9×103
DAL-5S 5 24.0×103
DAL-5D 5 6.65×103
DAL-10S 10 24.0×103
DA-60S 60 21.3×103

特点：无油排气清洁，设计紧凑，噪音低，易保养
适用范围：科学分析装置，晶片处理系统，零件处理系统，自动包装机器，真空夹盘，手柄、探头


■涡旋型干式真空泵

型式 排气速度L/min 到达压力Pa
DVS-321 265 ≤1.5
DVS-631 525 ≤1
DIS-090 90 5
DIS-250 250 1.6
DIS-500 500 1

特点：无油，极限真空度低，无需油的保养，节省能源
适用范围：真空干燥，真空包装，锁定负载排气，涡轮分子泵或低温泵的前级泵