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红外干涉测量设备FSM 413
- 品牌：美国FSM
- 型号： FSM 413
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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上海科学仪器有限公司
更新时间：2024-05-29 16:09:38 -
企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
ZL红外干涉测量技术, 非接触式测量
产品特点：
适用于所有可让红外线通过的材料
硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………
产品特点：
衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)
平整度
厚度变化 (TTV)
沟槽深度
过孔尺寸、深度、侧壁角度
粗糙度
薄膜厚度
环氧树脂厚度
衬底翘曲度
晶圆凸点高度(bump height)
MEMS 薄膜测量
TSV 深度、侧壁角度...
技术参数：
测量方式: 红外干涉(非接触式)
样本尺寸: 50、75、100、200、300 mm
测量厚度: 30 780 μm (单探头)
3 mm (双探头总厚度测量)
扫瞄方式: 半自动及全自动型号,
另2D/3D扫瞄(Mapping)可选
衬底厚度测量: TTV、平均值、最小值、最大值、公差...
粗糙度: 20 1000? (RMS)
重复性: 0.1 μm (1 sigma)单探头*
0.8 μm (1 sigma)双探头*
分辨率: 10 nm
设备尺寸:
413-200:26”(W) x38”(D) x56”(H)
413-300:32”(W) x46”(D) x66”(H)
重量: 500 lbs
电源 : 110V/220VAC 真空:100 mmHg
*样本表面光滑（一般粗糙度小于0.1μm RMS)
** 150μm厚硅片（没图案、双面抛光并没有掺杂）
