linseis TFA 薄膜激光导热测量仪

仪器特点

材料的热物理性质以及产品的传热优化在工业应用领域变得越来越重要。

　 经过几十年的发展，闪射法已经成为最常用的用于各种固体、粉末和液体热导率、热扩散系数的测量方法。

薄膜热物性在工业产品中正变得越来越重要，如：相变光盘介质、热电材料、发光二极管（LED ） ，相变存储器、平板显示器以及各种半导体。在这些工业领域中，特定功能沉积膜生长在基底上以实现器件的特殊功能。由于薄膜的物理性质与块体材料不同，在许多应用中需要专门测定薄膜的参数。

　 基于已实现的激光闪射技术，LINSEIS TF-LFA 薄膜激光导热测量仪(Laserflash for thin films)可以测量80nm20μm厚度薄膜的热物理性质。

1、瞬态热反射法（后加热前检测（RF）） ：

由于薄膜材料的物理性质与块体材料显著不同，必需要有相应的技术来克服传统激光闪射法的不足，即瞬态激光闪射法。

尺寸测量方法与传统激光闪射法相同：检测器和激光器在样品两侧。考虑到红外探测器测试薄膜太慢是，检测是通过所谓的热反射方法完成的。该技术的原理是材料在加热时，表面反射的变化可用于推导出热性能。测量反射率随时间的变化，得到的数据代入包含的系数模型里面并快速计算出热性能。

2、时域热反射法（前加热前检测（FF） ） ：

时域热反射技术是另一种测试薄层或薄膜热性能（热导率，热扩散率）的方法。测量方式的几何构造被称为“前加热前检测（FF） ”，因为检测器和激光在样品上的同一侧。该方法可以应用于非透明基板上的薄膜层，这种薄膜层不适合使用RF技术。

3、瞬态热反射法（RF）和时域热反射法（FF）相结合：

两种方法可以集成在一个系统中并实现两者优点的结合。

技术参数