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德国BMT SMS专家级测量系统(共聚焦原理)
- 品牌:德国BMT
- 型号: SMS
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 佰汇兴业(北京)科技有限公司
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企业性质
入驻年限第10年
营业执照
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- 详细介绍
德国BMT SMS专家级测量系统(共聚焦原理)
SMS专家级测量系统(共聚焦原理)依据不同的需求配置不同的传感器:光谱传感器、三角测量传感器、白光干涉系统、共焦传感器、自聚焦传感器、触针式传感器。主要用途.
◆ 任何粗糙、光滑表面检查和测量(可选用不同的传感器)
◆ 用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业
◆ 其他表面的微观形貌测量
◆ 微型机械元件的尺寸测量
◆ 金相测量
◆ 微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算主要特点
● 非接触测量表面形貌,2D/3D,垂直和横向尺寸测量;
● 粗糙和光滑表面测量;
● 粗糙度参数测量,FFT,ACF,平面斜面及台阶高度测量;
● 金属片,玻璃,塑料,晶片及其他物体的微观形貌;
● 表面反射率对测量结果无影响。
技术参数
共聚焦显微镜头
● 垂直测量范围 (mm) 1
● 垂直分辨率 (nm) 30
● 横向分辨率 (μm) 3
● 工作距离,约 (mm) 24
● 光斑尺寸,约 (μm) 6
● 测试频率 (kHz) 1~10
移动平台
● X、Y、Z轴 (mm) 50
● 步长 (μm) 0.5
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