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iPHEMOS-DD倒置发射显微镜 C10506-05-16
- 品牌:日本滨松
- 型号: C10506-05-16
- 产地:亚洲 日本
- 供应商报价:面议
- 滨松光子学商贸(中国)有限公司 更新时间:2024-09-05 09:04:54
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销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照已审核
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产品特点
倒置发射显微镜是一款背面分析系统,用于侦测和识别半导体器件上的光发射和热发射。
样品可以轻松地安装到探针卡上面实施点针,信号从器件背面侦测。平台下方可以选配多款不同种类的探测器和激光,使之完成多种探测方式。例如光发射和热发射分析,近红外-光束诱导电阻阻值变化分析,和一些其他的分析方式完成动态分析,满足客户需求。
Iphemos-DD
将样品直接连接到测试机上,再把测试机架装到设备上方能够有效减少线缆长度,这使得高频驱动样品的分析成为可能,这种直接架装方式可用于点针侦测12英寸晶片,也可用来侦测封装好的样品。
详细介绍
- 连接示例产品特征
● 可安装用于光发射分析和热分析的两个超高灵敏度相机
● 可安装最多3个波长的激光器和一个EOP探头光源
● 配备适合不同样品的光学工作台● 高灵敏度微距镜头和最多10个适合每个探测器灵敏度波长的镜头
产品选配● 激光扫描系统
● 高灵敏度近红外相机进行光发射分析
● 高灵敏度中红外相机进行热分析
● 红外-光致阻值改变(IR-OBIRCH)分析
● 激光辐射动态分析
● EO侦测分析
● 纳米透镜进行高分辨率、高灵敏度分析
● 连接到CAD导航
● 连接到LSI测试仪显示功能叠加显示/对比度增强功能
iPHEMOS-DD将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰,细节更多。
显示功能
- ● 注释
● 图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。 - ● 比例显示
● 可使用分段,在图像上显示比例宽度。 - ● 栅格显示
● 图像上可显示水平和垂直栅格。 - ● 缩略图显示
● 图像可以以缩略图的形式存储和调用,stage坐标等图像信息也可显示。 - ● 分屏显示
● 图案影像、发射图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。
详细参数线性电压 AC 200 V (50 Hz/60 Hz) 功耗 Approx. 1400 VA (Max. 3300 VA) 真空 Approx. 80 kPa or more 气压 0.5 MPa to 0.7 MPa 尺寸/重量 Main unit: 1980 mm (W)×1270 mm (D)×834 mm (H), Approx. 1700 kg
Control rack: 880 mm (W)×700 mm (D)×1842 mm (H), Approx. 300 kg
Optional desk: 1400 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 60 kg* iPHEMOS-MP主体机台包括探针台和其他相连接的装置。
相关下载Failure Analysis Systems Option: Emmi-X camera C8520-45 series (Near-infrared photo emission camera) [644 KB/PDF]
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- ● 注释
技术资料