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减压阀 L26系列

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详细介绍

本器L26系列是为低压、中压型的半导体工艺制造气体设计的产品,基本结构是外部金属密封、焊接接头规格,比L25产品的基本性能提高的过渡产品。外部泄漏、粒子性能优良的产品,最适合装置供给的阀箱、钩环用。

入口压力6MPa以下

调整压力Max.99MPa(范围规格:00.2MPa00.4MPa00.6MPa00.99MPa

原压变动入口压力:每0.1MPa,调整压力变化量0.001MPa

耐压压力1次侧22.2MPa

Cv0.21

使用温度10~+40˚CC

外部泄漏1×10-11Pam3/sHe(真空法)

内部容积4.75cm3(压力计、接头部除外)

重量1kg

安装方法使用背面螺钉安装

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