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lyncee+材料3D实时动态显微镜+DHM™ R2100
- 品牌:瑞士 Lyncee Tec
- 型号: DHM™ R2100
- 产地:瑞士
- 供应商报价: ¥ 200000
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上海瞬渺光电技术有限公司
更新时间:2022-01-12 15:50:35
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企业性质
入驻年限第10年
营业执照
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- 详细介绍
材料3D实时动态显微镜
DigitalHolographicMicroscopy(DHM)generates,inreal-time,highresolution3Ddigitalimagesofasampleusingtheprincipleofholography.DHMR1000seriesCost-effectivesub-nanometerresolutioninreal-time.
仪器简介
瑞士Lynceetec公司的材料3D实时动态显微镜DHMR1000“DHM(DigitalHolographicMicroscopy)主要应用是在MEMS研发中用于测量工作,以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比,在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm,水平方向为200nm~300nm(取决于物镜)。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm,可以15帧/秒的速度进行测量。因此,25px见方的试样几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时,同等范围的观察则需要几个小时~10小时。此外产品最大可将观察速度扩展至1万帧/秒。由于摄影速度快,因此不需减震台,可用来检测流水线上的产品。
照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机,作为数字数据保存下来,由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“KoalaSoftware”。
主要特点:
非接触式3D成像
可进行相位测量
自动相干补偿
高分辨、实时测量
技术规格
系统
测量技术:单波长透射式数字全息显微镜
成像类型:强度及定量相差(DHM模式)
光源:单波长激光
样品台:手动或自动XYZ平台,行程200mm××100mm×15mm
相机:1392×1040像素,8bits
有效物镜:标准显微物镜,长工作距离物镜,油镜或水镜
性能
纵向分辨率:10nm
垂直测量范围:可达340nm(取决于样品)
横向分辨率:300nm(1.4NA)
视场范围:4.4mm
工作距离:0.3~18mm
数字聚焦范围:达到50倍场深
抓图时间:小于1us
空间采样:1024×1024像素
采样速率:15fps(1024×1024像素)
单波长重建速率:15fps(512×512像素),4fs(1024×1024像素)
样品照明:小于1uW/cm2
最大样品尺寸:200mm×200mm
电源要求
输入电压:85-260VAC,50/60Hz
功率:480W
重量&尺寸
显微镜部分:500×500×500mm&34.5kg
- 技术资料
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