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MSE-3200S 全自动移动式高性能氦质谱检漏仪

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MSE-3200S 全自动移动式高性能氦质谱检漏仪 核心参数
最小检漏率 10-13-100Pa m3/s (He) 响应时间 1
启动时间 1

产品特点

MSE-3200S 全自动移动式高性能氦质谱检漏仪

详细介绍

MSE-3200S 全自动移动式高性能氦质谱检漏仪
岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU,采用专用的分流泵及中间排气系统,实现了卓越的低BG恢复性能和操作性。 


 

产品信息

主要特点

  • 检出灵敏度:10-13-100Pa m3/s (He)

  • 卓越的BG恢复性能和操作性

  • 大屏幕液晶显示面板,操作简单

  • 分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝(内置两根)

  • 搭载大排量的粗抽真空泵,提高了作为通用机应具备的稳定性和可靠性

  • 对大泄漏工件也可以进行检漏测试

 应用领域

  • 半导体和平板显示器制造

  • LED制造

  • 镀膜设备

  • 制冷设备和空调的元件及部件

  • 低温压力容器

  • 阀门气密性

  • 捡漏航空部件,配件及系统 



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