产品信息

主要特点

• 灵敏度: 10-13~100Pa・m3/s【He】

• 氦气排气速度：3 L/S

• 卓越的本底恢复性能和极短的节拍时间

• 大屏幕液晶触摸显示面板，操作便捷

• 分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝（内置两根）

• 采用非接触式干泵为无尘室提供更优化的真空系统

• 无油/无尘/三年免维护（干泵）

应用领域

• 半导体和平板显示器制造

• LED制造

• 镀膜设备

• 制冷设备和空调的元件及部件

• 低温压力容器

• 阀门气密性

• 捡漏航空部件，配件及系统 

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