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昊量/auniontech 可定制气体轴承线性位移台
- 品牌：昊量/auniontech
- 型号： LT
- 产地：徐汇区
- 供应商报价： 面议
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上海昊量光电设备有限公司
更新时间：2024-07-11 13:28:03 -
企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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联系方式：贺先生156-01689581
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- 详细介绍
LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承，该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比，采用气体为润滑剂，因此所有运动都是无接触的，因此在整个使用寿命之内，设备的性能保持不变，并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动，无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面，可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。
上海昊量光电设备有限公司推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时，精度可达到300nm，平移台拥有优异的分辨率，重复精度可达到100nm。
此外提供高精度的复杂运动和定位方案：
提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件
?整体解决方案
?定制化解决方案
?复杂的多轴与并联运动系统
?超精密空气与机械轴承
?软件集成：: LABVIEW, Tango, Epics……
产品特点：
l 优异的重复精度
l 超大行程
l 采用空气轴承，无需维护
l 可按客户要求进行定制
主要应用
l 高性能扫描
l 光学检测系统
l 超精密研磨和切削
l 光伏系统
l yi疗系统
l 同步辐射或X射线
l 激光加工
l 半导体行业
l 晶体处理
产品参数：
Units
LS100
LS200
LS300
LS400
LS500
LS1000
LS1500
travel
mm
100
200
300
400
500
1000
1500
load capacity
kg
>65
>65
>65
>65
>65
>65
>65
accuracy
μm
±0.3
±0.5
±0.5
±0.5
±0.5
±1.0
±1.0
repeatability
μm
±0.1
±0.15
±0.15
±0.2
±0.2
±0.4
±0.4
flatness
μm
±0.2
±0.4
±0.5
±1
±1.5
±3
±5
pitch
μrad
±4
±8
±12
±13
±14
±29
±39
roll
μrad
±4
±8
±12
±13
±14
±29
±39
yaw
μrad
±4
±8
±12
±13
±14
±29
±39
- 产品文章
