昊量/auniontech DMD无掩膜光刻机

DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备，可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状，而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术，投影出具有微米分辨率的图像，无掩膜光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤，就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩膜光刻机SmartPrint主要应用是微流体，生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。

无论您需要什么图案——在微尺度上快速、轻松地完成

  尺寸：2um--25mm

  分辨率：低至0.7um

  厚度：可达100um

  形状：简单到复杂的几何形状

它是怎样工作的呢？

一个数字化掩膜图案从计算机发送到SmartPrint的投影头

一束明亮的光束透过一个µLCD阵列或DMD阵列反射

然后过滤并直接聚焦在光敏抗蚀剂上

应用领域：

                 光器件                                                      微流控                                        微电子

关键特性：

• 直写分辨率低至1.5um

• 可更换物镜调节直写区域和分辨率

• 兼容CAD文件和位图图像

• 兼容i, h和g线光敏电阻

• 兼容多种基材(硅、玻璃、金属、塑料等)

• 兼容任何样本大小，达到5英寸的方形掩模
  

• 相机反馈准直

核心优势：

• 由于没有硬掩膜版，节省了时间和成本
  

• 直观的校准方法，设计图案直接覆盖在样品上

• 桌面式小尺寸

• 该技术非常适合微流体，2D材料，光电子，或任何其他二维微加工应用