其它电子光学仪器

电子光学仪器是一种直接观察研究物质微观形貌，成份和结构与其宏观性能（功能）之间关系的一类大型精密仪器。经过近七十年的发展已成为科学技术中不可缺照得重要工具。常用的电子光学仪器有透射电镜、扫描电镜、电子探针显微镜、X射线能谱仪等，在材料科学、纳米科学技术、生命科学技术、物理、化学、医学、微电子学、半导体大规模集成电路制造等科技领域以及临床诊断、刑事侦破、考古和工农业生产中得到了广泛的应用。