ito靶材是什么？

297374192 2017-10-05 靶材浏览 491 次

分不清ito靶材和ito薄膜？磁控溅射是生产哪个？

精彩问答

121莪很乖发布日期：2017-10-05

ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1600度，通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。ito薄膜是利用ITO靶材作为原材料，通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上。ITO薄膜具有导电性和透光性，厚度一般30纳米--200纳米。

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