pvd镀膜中，铬和硅做靶材，氮气和乙炔做反应气体，如何设置进气量做出

_mayumeng 2017-02-21 靶材浏览 697 次

pvd镀膜中，铬和硅做靶材，氮气和乙炔做反应气体，如何设置进气量做出蓝黑色的物料？？

精彩问答

awddg 发布日期：2017-02-22

PVD(Physical Vapor Deposition)，指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。

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