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日本新柯隆SHINCRON真空镀膜机RAS,搬送异常报警

a897967889    2017-08-08    镀膜机    浏览 775 次

日本新柯隆SHINCRON真空镀膜机RAS,镀膜完成(没有取出来)之后又继续排气抽真空,然后想把它不镀膜从仓室2转到仓室1取出来,又因为操作不挡,导致仓室2的drum(大概是这么发音的)没有升起的情况下,道轨就进去了,然后报警显示DRUM搬送异常,这种情况应该怎么办... 日本新柯隆SHINCRON真空镀膜机RAS,镀膜完成(没有取出来)之后又继续排气抽真空,然后想把它不镀膜从仓室2转到仓室1取出来,又因为操作不挡,导致仓室2的drum(大概是这么发音的)没有升起的情况下,道轨就进去了,然后报警显示DRUM搬送异常,这种情况应该怎么办?

精彩问答
枯骨哇丫丫 发布日期:2017-08-09
还是熟悉的RAS。
这个你要分辨一下,是搬送动力故障还是信号互锁。
如果是搬送到一半的位置,你得先想个办法把轨道回到一头,要么进去要么出来。
然后再打开interlock界面看到底哪个地方没有亮起来,然后再操作。
如果没办法回到一头,你只能先破真空,检查搬送系统状态,看看电机是不是转的,轴承有没有故障,定位的感应器有没有故障。
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