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雷尼绍激光干涉仪回转轴精度的测量方法

qq476540171    2012-07-09    干涉仪    浏览 390 次

精彩问答
lagngalkgn 发布日期:2012-07-10
雷尼绍激光干涉仪测量回转轴精度时,需要转台附件(XR20-W)配合使用,此外还需要使用角度干涉镜。如果你使用的是有线转台附件(RX10),则还需要使用角度反射镜。
测量回转轴精度时,
diyi步,需要将转台附件的ZX,与回转轴ZX对齐(偏差在1mm之内)。
第二步,搭好光路。
第三步,可以运行测量软件进行测量。
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