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南光镀膜设备扩散泵启动后油镜里有气泡怎么回事

tc86544098    2017-03-14    扩散泵    浏览 294 次

精彩问答
ai79249015 发布日期:2017-03-15
一、关闭电源,拆除加热炉 二、让扩散泵冷却到室温,拔出泵壁的测量孔上的密封,把空气放入泵内 三、拆除机械泵联接和扩散泵 四、取出扩散泵,取出里面的部件,如喷油伞等,一定要记住安装秩序和位置 五、清洗部件和泵内壁,尤其是泵底部,把油...
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