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真空镀膜 工作流程

retrospect6317    2016-12-01    扩散泵    浏览 556 次

scs-850z型真空磁控溅射镀膜机的工作流程是怎么样的??能详细说明下么??尤其是装工件和启动抽真空泵的顺序是怎么样的?

精彩问答
品诺暗香残留_ 发布日期:2016-12-01
1。装工件。
2。手动开启转架至少转动一周以上,看是否有刮蹭,如果转动正常,关闭真空门。
3。检查门关到位信号,开启V1阀,启动粗抽泵(机械泵和罗茨泵),开始抽真空,当真空度达到4Pa,关闭V1阀,开启V2和V3阀,使用分子泵(扩散泵)抽真空,此时机械泵、罗茨泵和前级泵共同为分子泵(扩散泵)的前级。
4。当真空度达到镀膜真空后,开始镀膜。
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