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扫描电子显微镜分辨率

美女蛇2010    2018-02-01    金相显微镜    浏览 911 次

扫描电子显微镜分辨率扫描电子显微镜的分辨率受哪些因素的影响,用不同的信号成像时,其分辨率有何不同?所谓扫描电子显微镜的分辨率是指何种信号成像时的分辨率

精彩问答
阿布丶丶阿布 发布日期:2018-02-02
扫描电镜是高能电子散射固体材料,可获得许多特征信号!
微观成像是扫描电镜基本功能,要求高分辨,So可为其他特征信号分析提供精确导航!
SEM一般标配SE探测器,用SE信号获得高分辨像,且SE信号可以充分代表扫描电镜电子光学性能。
Why SE not other?
比靠斯:在电子束样品作用区,可能只有SE取样面积与电子束斑尺寸Z接近,且对其尺寸敏感! 敏感到啥程度? 例如样品是黄金,SE1的取样面积和束斑面积相同。
BSE也是常用成像信号,但对于黄金样品,电子探针束斑直径1nm 或 2nm,其空间分辨率没有差别。其信号取样范围直径和电子穿透深度相近,大多情况,其分辨率和加速电压相关较多。
总结:提到扫描电镜分辨率,大概就是在说这台电镜的性能,用SE成像分辨率是Z为精确的表达,主要影响因素为末级电子探针束斑直径和样品材质。
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