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求磁控溅射和多弧离子镀膜的资料和文摘

SHUANGYING7    2008-06-24    离子膜    浏览 421 次

不是蒸发镀膜的,我需求的是磁控溅射和多弧离子镀膜的技术文章.
我想了解其详细的工作原理,如果说得好肯定给增加分,
主要问题就是详细的工作原理.
比如镀膜工艺中通入气体对镀膜颜色材质的影响.
靶材和基材对镀膜的颜色的改变.
期待

精彩问答
呆瓜呱 发布日期:2008-06-25
1.磁控溅射镀膜技术由于其显著的特点已经得到广泛的应用。但是常规磁控溅射靶表面横向磁场紧紧地束缚带电粒子,使得一镀膜区域的离子密度很低,一定程度上削弱了等离子体膜的优势。通过有意识地增强或削弱其中一个磁极的磁通量。使得磁控溅射靶的磁场不平衡,可以大大提高镀区域的等离子体密度,从而改善镀膜质量,此外还讨论该技术目前的发展状况。

2.多弧离子镀膜 请查看 http://www.swip.ac.cn/yykf/1-1.htm
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jing6340 发布日期:2008-06-25
不知
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