镀膜机上室真空系统配置为：1台莱宝630旋片泵串联1台上海阳光ZJY-2500A罗茨泵（变频驱动），后级为
爪泵-罗茨泵机组运行有哪些要求？包括电源，安装，气源等各项要求 ZH—0.001型真空自耗电极电弧炉主要
怎么理解 前级泵应保证能及时排出主泵所排出的气体流量？ 例如泵组 罗茨泵1200+H150滑阀泵 ，
好凯德罗茨泵与前级泵抽速之间的关系 好凯德罗茨泵的抽速与前级泵抽速之间的关系，主要取决于容积效率和罗茨泵
Z近工作中涉及到了真空泵，不懂这个，请教一下关于真空泵的问题。。是一台ads602真空泵，由罗茨泵和干泵组
机械泵常压启动，过几分钟后可启动罗茨泵，Z后启动分子泵；一般程序上有启动和自动关闭的上下限
扩散泵正常使用没有关系2年可以换一次，罗此泵1年就可以换，要注意油杯的油，维持泵6个月，，机械泵3个月；却油
其实 高真空 都要用扩散泵的 前面的低真空 一般般的真空泵就行了，你一定要配置三级抽真空 也可以 稍微浪费点
只是影响抽真空的速率和真空度吗？还是还有别的影响？能举一些你们实际应用中出现的问题吗？求大神们告知一二。谢
1.如果是扩散泵系统，系统和扩散泵腔不预抽的话，扩散泵一工作大量的气体与扩散泵油结合就会把扩散泵油氧化2.分
沪公网安备 31011502008050号
