MWM442DM线切片机作业指导书
1.0目的：
制定线切作业指导程序以确保线切流程有效的执行。
2.0使用范围：
制造线切部
3.0作业设备：
升降手携车、砂浆搅拌桶、砂浆泵、442线切机、内六方扳手、剪线钳、电烙铁、周转料盒、橡胶手套、剪刀、工作灯。
4.0工作条件：
室温15~25℃（波动<0.5℃/H）、相对湿度<60%、冷却水、压缩空气
5.0工作流程：
调整机器设定参数 绕线 上料、对料 切割 下料 冲洗
从粘料室领料 将料固定于夹具中
6.0操作工艺：
6.1准备：
6.1.1检查冷却水温不超过12℃，压力为0.3MP；压缩空气压力为0.37~0.45MP。
6.1.2确认要切单晶的直径，长度（小于305mm）、切割厚度、所用钢丝的直径、剩余钢丝总量、导论主辊使用时间、主辊槽距、砂浆切割刀数、选定切割程序及参数。
6.1.3清理主辊保证主辊上及切割线移动路径上没有任务杂物异物。
6.1.4确定砂浆温度为25度。
6.2绕线：（红线表示钢丝）
左线轴到右线轴（LH→RH）：
左侧线轴（新线）→LH T#1→ LH T#2→LH T#3→LH#1→LH#2→LH#3→LH#4→LH#5→LH#6→主辊→RH#5→RH#4→RH#3→RH#2→RH#1→RH T#3→RH T#2→RH T#1→右侧线轴（空轴）
右线轴到左线轴（RH→LH）：
右侧线轴（新线）→RH T#1→RH T#2→RH T#3→RH#1→RH#2→RH#3→RH#4→RH#5→主辊→LH#6→LH#5→LH#4→LH#3→LH#2→LH#1→LH T#3→LH T#2→LH T#1→左侧线轴（空轴）
6.2.1将线轮装配于放线轴上，并将线头与绕线用胶带粘紧。
6.2.2用胶带将两个主辊缠在一起并粘紧（做传动和载体用），然后将线头紧粘在胶带上手动转动主辊绕线并用钢板尺从进线端逐个将钢丝拨进槽里，直到布线宽度12~15mm后用布线胶带将新线粘住用剪刀将胶带后面的线剪掉并将线头粘牢防止自动绕线时线头松开，提高主辊转速直到新钢线布满整个线网，出线端多绕出三圈。
6.2.3抽出多余的线绕过导轮缠绕于收线轮上并用胶带粘好。
6.2.4安装好砂浆喷管。
6.3 磨合
将切割舱盖关上，并锁闭，进行双向走线，5分钟后停止走线，等机器完全停止后打开舱盖，检查主被动导线轮是否有跳线，砂浆有无杂质（由于现在砂浆已覆盖在线网上，所以要用手去触摸检查线网）。
6.4上料，对料
6.4.1从粘料室领出各机台带切料并核对随工单，并在随工单上标明左，右（双跟料）。上机切料前必须由本班班长进行复核并签字，防止错切。
6.4.2保证较短的一组置于进给方向末端。
6.4.3用升降车将上好的棒料上升至机床上的夹具挫槽位置，对准并用手轻轻将料推入到夹具模内卡好，用钢板尺测量使两根硅棒的端面距离线网边缘8~12mm并且前后都在线网内，然后用力矩扳手上好螺丝，锁紧夹具，锁紧夹具工作后用手轻轻摇动工件检查是否有松动，若有松动则不可开机。
6. 4.4在“进给”画面下手动下降使待切硅棒轻轻压在线网上，设定基准零点。
6.4.5对基准参考零点时，如果发现两根晶棒的高低有偏差（偏差值<1mm）应将有偏差的晶棒退回。
6.4.6设定好零点将硅棒提升1mm。
6.5切割
6.5.1检查放线轮是否符合切割长度要求，导线轮时间是否满足切割要求，导轮转动有无异常。
6.5.2开机切割前检查导线轮上无线头缠绕，防护罩安装是否牢固。
6.5.3开机切割前检查导线轮状态是否正常。
6.5.4开机切割前检查砂浆管是否畅通有无断帘现象。
6.5.5开机切割前检查主辊电极有无变形，安装是否稳当。
6.5.6开机切割前检查实际张力与设定值，检查切割参数是否正确。
6.5.7开机切割前检查程序，3寸用13号文件（需研磨的）6寸用3号文件，若用其他程序须技术部同意。
6.5.8操作“定位”—“方式”—“图表”启动浆料系统，操作“温调”—“自动”（自动调节砂浆温度到设定值）慢速走丝，观察浆料管流沙状况，如发现堵塞断帘现象应马上清理，用手摸浆料看是否有较大颗粒，如发现有较大颗粒应马上换浆料。
6.5.9关闭砂浆停止手动运行，全自动运行3分钟甩干砂浆检查是否有跳线并用手触摸主辊表面是否有硅渣，如发现硅渣应及时清理主辊，硅渣较多时要冲洗系统。
6.5.10返回操作面板打开砂浆检查无断帘后，按“auto”键进行自动切割。
6.5.11自动切割过程中认真填写记录。
6.6下料
6.6.1打开并向上推起切割舱门，检查线网，观察棒料是否切选，严禁将料升起检查是否切透。“定位”—“方式”—“手动”关闭砂浆。再联锁无效画面里打开“地络、料浆流量、料浆温度、料浆热交”关闭温调“温调”—“停止”然后在进给画面里手动提升料（整个过程要稳慢以免将线拉断）。
6.6.2使用装卸料推车，把切好的料送到冲洗槽进行冲洗，整个过程要小心轻放。
6.6.3冲洗过程中必须前后移动2次棒料，使硅片与硅片间被水冲开，每个硅片都可以被冲洗干净，每次冲洗时间为20分钟。
6.7后序
6.7.1检查线网上有无残留的渣子（用手抚摸整个线网），然后全自动运行将线网上的砂浆甩干，修复线网跳线。清理砂浆喷嘴，过滤网并用聚乙二醇洗过。
6.7.2清理线切机回收仓内碎硅片，并集中放置于回收筐内（不同型号和尺寸的片子分开存放）。
6.7.3更换砂浆，3寸4寸新砂浆前6刀不用更换，第7刀开始每3刀更换80-85kg新砂浆，30刀后更换全部砂浆，6寸方片，亲砂浆前两刀不用更换，第三刀开始每一刀更换80-85kg砂浆，每切十刀砂浆全部更换，全部更换砂浆时必须清洗干净砂浆罐并除去水分。
6.7.4清理工件夹具处的残留砂浆。
6.7.5将酒精到于主辊上全自动运行清洗主辊2分钟后停止运行用手抚摸主辊检查主辊上是否渣子如没有就安装好砂浆管滤网，打开砂浆“定位”—“方式”—“自动”，打开联锁“地络、料浆流量、料浆温度、料浆热交”并打开温调。进行排砂手动运行线网检查有无断帘。
6.7.6再全自动运行甩干砂浆检查无跳线后，准备上料。
6.7.7换新砂浆时要启动机器过滤砂浆半小时，方可正式上棒开切。
7.0注意事项
7.1 从粘料工序领出来的硅棒要仔细核对直径，，长度，重量，切片厚度，发现问题及时追溯，未能做好监督工作，与直接负责人负同样责任。
7.2开切前，砂浆泵开启后要用手抚摸线网，确定砂浆内无异常杂质。
7.3清洁机器操作面板时应轻擦，以防误操作，引起报警停机。
7.4每刀切完要清理碎片回收箱，并准确记录碎片数量以及重量。
7.5严禁将切过得硅片外漏空气中放置，尤其是对硅片，否则硅表面会出现砂浆干裂后沉积的印记。
7.6在周转过程中必须将料放入盛料盒中，严禁空手拿取搬运，避免掉料损失。
7.7随工单一定要随料走，严防混料情况发生。
7.8主辊
7.8.1每次检查主辊并记录状况发现异常立即更换。
7.8.3主辊累计使用时间达到600小时更换。（特殊情况除外）
7.9导线轮
7.9.1导论400小时全部翻转800小时全部更换。
7.9.2每次检查导轮发现异常立即更换。
7.10切料前认真核对随工单及料，防止错切。
7.11按时做好各项工艺记录。
7.12未经允许，不得私自改动机台参数。
7.13硅棒在转移过程中避免磕碰在装卸料时要紧托料的底部，以防掉落。
7.14砂浆配比，乙醇：sic=1：0：92（质量比） 砂在使用前必须烘干8小时，先加200kg乙醇并搅拌，再搅拌过程中陆续加入184kg1500#sic搅拌6小时方可使用。
7.15停机后再次开机，要等一分钟后方可打开电源开关，再次开机，关机时让机器上所有马达处于停止运转状态，方可关掉电源，关掉电源后严禁在机台进行任何操作，短暂停机时，禁止关气关水，长时间停机时需要继续通气通水4个小时，方可停止供应。
8.0短线事故
8.1记录事故发生时的设备状况，切割参数。
8.2根据现场情况进行挽救，收线轮断线，将线按好继续切割，放线轮和线网断线采取重新布线切割。
8.3剪线网时，从晶棒内侧理清要剪的那一部分线网，一首捏住要减掉的那一端，另一手用剪刀一次性并快速剪断此部分网线，剪完后将线从片内轻轻抽出，剪线网时不能有线渣掉入机器内。
8.4采用重新切割方式。需要把晶棒提起，用水把刀缝冲洗干净并用压缩空气将水吹干。
8.5将晶棒仔细插入新布好的线网并下降到断线时进给位置。
8.6打开砂浆等待温度到设定值手动启动主轴，启动进给继续切割。
8.7填写事故报告。
9.0维修保养时间表
每次上料 每三天 每月 每季 半年
1检查线网 清洗砂浆罐 清洗系统清洗搅拌桶 设备除尘 给杠加油
2检查导论
3检查收，放线轮有无线头
4检查砂浆
5检查导论，主辊时间
6冲洗砂浆管
开机注意事项
1、确认机器周围无影响的事物。
2、检查冷却水情况，要求冷却水温度Z高不得超过12℃，水压为0.2Mpa（2公斤力）以上
3、检查压缩空气，要求气压为0.4Mpa(4公斤力)以上，供气量不低于600NL/min(标准大气压下600升/分)；
4、在确认以上三项符合要求后打开总电源开关。打开电源总开关后，开启POWER键，等待屏幕上闪烁的初始化消失后，按下运转准备(OPERATION STAND BY)。
5、进入主菜单，开始操作机器。
6、停机后再次开机，要等显示屏左上角电源显示灯灭至少20S后方可打开电源开关再次开机。
关机注意事项
1.将空气电源置于“OFF”时，请务必在料浆泵停止两小时后进行。
2.即使将键开关置于“OFF”空气也不能停止，除非关闭气阀。
3、卸掉左右张力臂上的张力。
3、关闭砂浆搅拌马达以及砂浆供给马达。
4、确认机器上所有马达处于停止运转状态，按下紧急停止按钮后再松开，按下复位键消除报警，关闭POWER键，然后关闭电源总开关。
5、关掉电源后禁止在机器上进行任何操作。
6、短暂停机时禁止关气、水，长时间停机时需继续通气、水4小时，方可停止供应。
