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高重频飞秒激光烧蚀玻璃需要多大功率

白色304    2016-07-03    台阶仪    浏览 441 次

精彩问答
jayheihei 发布日期:2016-07-04
  飞秒激光微细加工技术是一种利 用飞秒激光的超短脉冲宽度、chao强峰值功率和超高重复频率等独特烧蚀特征,并在极短时间条件下产生高温、高压的等离子体而产生材料的局部微爆,从而实现对材 料进行精确去除的微细制造方法。由于飞秒激光与物质作用时具有加工精度高,作用区域小,可突破衍射极限等特点,使得精密烧蚀石英玻璃表面成为可能。石英玻 璃具有优良的高温使用性能和较低的热膨胀系数,同时在紫外光波段的透过率较高,因此成为光刻印刷领域、空间光学系统和激光核聚变系统中常用的光学材料。而 在这些应用领域中,有较多涉及到对石英玻璃表面进行精密加工,且对表面质量要求较高,因此,研究飞秒激光烧蚀去除机理及加工规律则有实际应用价值。本文建 立了飞秒激光烧蚀透明电介质的物理模型,并对烧蚀机理进行了讨论;利用掺钛蓝宝石再生放大器飞秒激光系统对石英玻璃进行点、线和面烧蚀实验;利用光学显微 镜、环境扫描电子显微镜、超景深显微镜、台阶仪和三维表面轮廓仪等设备,对烧蚀表面形貌、腐蚀形貌、表面烧蚀深度和表面粗糙度等进行检测分析。
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