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薄膜模量和硬度测量不准为什么?

mumod_    2012-12-13    纳米压痕仪    浏览 467 次

做的是多层膜,约500nm,用纳米压痕硬度计测量杨氏模量与硬度,600微牛,深入约30纳米,小于膜厚的10%。结果与预估值相差很大:文献报道杨氏模量约为200GPa,硬度10GPa左右,但测出来模量只有30GPa, 硬度只有200MPa左右。之前用同样方法测量过硅基底的模量与硬... 做的是多层膜,约500nm,用纳米压痕硬度计测量杨氏模量与硬度,600微牛,深入约30纳米,小于膜厚的10%。结果与预估值相差很大:文献报道杨氏模量约为200GPa,硬度10GPa左右,但测出来模量只有30GPa, 硬度只有200MPa左右。之前用同样方法测量过硅基底的模量与硬度,与文献值相符。为什么多层膜的测量值就不准呢???求教高手!!!

精彩问答
牛气冲天99180 发布日期:2012-12-14
也许是实验环境的问题 譬如有微小的气流影响了实验这样的问题就属于实验环境的问题;另外,如果文献记录是多次测量的结果,而你就做了几次实验,那么出误差的几率还是很高的;如果你也是多次测量,也许文献有错(这个不排除),但也可能是其他的因素(设备老化这样的问题等),找这种问题就要考验我们的细心程度了,加油呐
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