microindentation和nanoindentation有什么区别

D丰港 2017-02-27 纳米压痕仪浏览 543 次

精彩问答

丽婧婧子发布日期：2017-02-28

很多压痕仪都是通过对材料进行加载，再在显微镜下测量压痕对角线来计算材料的硬度，这个时候压痕尺寸越小的话，误差也就会越大。尤其对于薄膜材料，为了测试时不击穿材料，就要用很小的力去测试，所以在显微镜下面不能准确读数。于是有人就发明了仪器化压入硬度测试系统，这种系统可以精确记录加载时压针压入的微小位移，由于压针的形状尺寸是固定的，这样压入深度和压入面积就有一个确定的函数关系，从而可以通过H=P/S求出硬度。现在好多micro-indentor和nano-indentor都是利用这个原理来进行硬度测试的，当然也有的micro-indentor也是直接通过测量压痕面积来进行硬度测量。二者的区别我认为就是加载力的范围和不同，一般来说micro-indentor的加载力的范围都是牛顿级别的，而压入深度也通常都是微米以上级别的，而nano-indentor的加载力范围是微牛-毫牛级别的，压入深度可以精确到纳米级别。nano-indentor跟适合进行纳米级别薄膜的硬度测试。至于为什么nano-indentor的测量数值高，这个原因可能有很多，如果是陶瓷薄膜的话，个人认为与材料表面的加工硬化层或者缺陷有关系。

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