低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率Z大、极限压力Z低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。闭路循环气氦制冷机低温泵它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。本案中客户维修的低温泵就是CTI品牌的闭路循环气氦制冷机低温泵。
安徽歌博科技生产的氦质谱检漏仪广泛应用在真空系统设备检漏行业，如图所示即为安徽歌博A100型检漏仪在为维修单位的CTI低温泵设备维修后的检漏。安徽歌博科技氦质谱检漏仪凭借便捷的操控，zhuo越的性能, 以及高灵敏超稳定等优点被业内工程人员广泛认可，产品值得信赖。
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