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KLA Instruments | Webinar课程：光学膜厚测量仪波长选择，膜厚范围，拟合度。
※适合新老客户了解学习膜厚仪的使用；加深对产品的理解。
在尝试去测量几埃到几毫米厚的薄膜前让我们首先来考虑一下光源，光谱仪分辨率，光斑大小，以及光学系统镜口率之间的相互作用。这堂课里我们先假设薄膜的折射率是确定好的。在结束之前一定要记得让我们回答这个非常抢手的问题：“我的拟合度要好到什么程度才算好？”
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CharlesChen是KLA公司光学及探针轮廓仪产品和KLA子公司Filmetrics薄膜测量产品的业务开发经理。他2004年以项目经理身份加盟Filmetrics。在此之前的十年里他分别在SpeedFAM-IPEC 和KLA-Tencor 参与并领导半导体化学机械研磨制程中在线制程控制技术开发。Charles在俄亥俄州立大学获得科学硕士和哲学博士。
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