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1、Exploiter-E100HV产品特色（1）传输管路的优化设计，有效地避免管路堵塞及交叉污染问题（2）工业化级别标准集成：PLC+工控机+触摸屏（3）软件操作界面友好，可真正实现“一键沉积”（4）完善全面的安全互锁方案（5）实时监测镀膜工艺2、Exploiter-E100HV可制备的材料种类（1）氧化物：Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等（2）金属材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等（4）纳米层压材料：(Al2O3/ZrO2)n等3、Exploiter-E100HV技术指标（1）本底真空：＜5.0×10-3torr，高性能机械泵（可定制其它款型）（2）样品腔室：φ100mm+真空过渡腔（可定制其它款型）（3）前

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1、Exploiter-E100HV Plus产品特色（1）传输管路的优化设计，有效地避免管路堵塞及交叉污染问题（2）工业化级别标准集成：PLC+工控机+触摸屏（3）软件操作界面友好，可真正实现“一键沉积”（4）完善全面的安全互锁方案（5）实时监测镀膜工艺2、Exploiter-E100HV Plus可制备的材料种类（1）氧化物：Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等（2）金属材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等（4）纳米层压材料：(Al2O3/ZrO2)n等3、Exploiter-E100HV Plus技术指标（1）本底真空：＜5.0×10-3torr，高性能机械泵（可定制其它款型）（2）样品腔室：φ100mm+真空过

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1、Exploiter-E100HV Plus产品特色（1）传输管路的优化设计，有效地避免管路堵塞及交叉污染问题（2）工业化级别标准集成：PLC+工控机+触摸屏（3）软件操作界面友好，可真正实现“一键沉积”（4）完善全面的安全互锁方案（5）实时监测镀膜工艺2、Exploiter-E100HV Plus可制备的材料种类（1）氧化物：Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等（2）金属材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等（4）纳米层压材料：(Al2O3/ZrO2)n等3、Exploiter-E100HV Plus技术指标（1）本底真空：＜5.0×10-3torr，高性能机械泵（可定制其它款型）（2）样品腔室：φ100mm+真空过

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1、Exploiter-E100HV 产品特色（1）传输管路的优化设计，有效地避免管路堵塞及交叉污染问题（2）工业化级别标准集成：PLC+工控机+触摸屏（3）软件操作界面友好，可真正实现“一键沉积”（4）完善全面的安全互锁方案（5）实时监测镀膜工艺2、Exploiter-E100HV可制备的材料种类（1）氧化物：Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等（2）金属材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等（4）纳米层压材料：(Al2O3/ZrO2)n等3、Exploiter-E100HV技术指标（1）本底真空：＜5.0×10-3torr，高性能机械泵（可定制其它款型）（2）样品腔室：φ100mm+真空过渡腔（可定制其它款型）（3）

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1、Exploiter-E200P Plus产品特色（1）传输管路的优化设计，有效地避免管路堵塞及交叉污染问题（2）工业化级别标准集成：PLC+工控机+触摸屏（3）软件操作界面友好，可真正实现“一键沉积”（4）完善全面的安全互锁方案（5）实时监测镀膜工艺2、Exploiter-E200P Plus可制备的材料种类（1）氧化物：Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等（2）金属材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等（4）纳米层压材料：(Al2O3/ZrO2)n等3、Exploiter-E200P Plus技术指标（1）本底真空：＜5.0×10-3torr，高性能机械泵（可定制其它款型）（2）样品腔室：φ200mm+粉末颗粒包裹

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1、Exploiter-E200P产品特色（1）传输管路的优化设计，有效地避免管路堵塞及交叉污染问题（2）工业化级别标准集成：PLC+工控机+触摸屏（3）软件操作界面友好，可真正实现“一键沉积”（4）完善全面的安全互锁方案（5）实时监测镀膜工艺2、Exploiter-E200P可制备的材料种类（1）氧化物：Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等（2）金属材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等（4）纳米层压材料：(Al2O3/ZrO2)n等3、Exploiter-E200P技术指标（1）本底真空：＜5.0×10-3torr，高性能机械泵（可定制其它款型）（2）样品腔室：φ200mm+粉末颗粒包裹腔（可定制其它款型）（3）前驱

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1、Exploiter-E200S Plus产品特色（1）传输管路的优化设计，有效地避免管路堵塞及交叉污染问题（2）工业化级别标准集成：PLC+工控机+触摸屏（3）软件操作界面友好，可真正实现“一键沉积”（4）完善全面的安全互锁方案（5）实时监测镀膜工艺2、Exploiter-E200S Plus可制备的材料种类（1）氧化物：Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等（2）金属材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等（4）纳米层压材料：(Al2O3/ZrO2)n等3、Exploiter-E200S Plus技术指标（1）本底真空：＜5.0×10-3torr，高性能机械泵（可定制其它款型）（2）样品腔室：φ200mm（可定制其它款

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1、产品特色（1）传输管路的优化设计，有效地避免管路堵塞及交叉污染问题（2）工业化级别标准集成：PLC+工控机+触摸屏（3）软件操作界面友好，可真正实现“一键沉积”（4）完善全面的安全互锁方案（5）实时监测镀膜工艺2、可制备的材料种类（1）氧化物：Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等（2）金属材料及合金：Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Au、Ru、Pt、Ag、Au等（3）二元/多元材料：AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等（4）纳米层压材料：(Al2O3/ZrO2)n等3、技术指标（1）本底真空：＜5.0×10-3torr，高性能机械泵（可定制其它款型）（2）样品腔室：φ200mm（可定制其它款型）（3）前驱体源：3路（4）氧化/还原反应物：3路（5）沉积温度：室温-500℃（可定制其他温度）（6）前驱体管道温度

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  oxford-instruments FlexAL 产品-ALD设备FlexAL ?产品-ALD设备牛津仪器的 FlexAL产品家族提供了一种新的广泛的灵活性和能力，应用于纳米结构和器件工程，通过提供遥感等离子体原子层沉积（ALD）工艺和热ALD工艺，在单一系统内实现了： 选择材料和源的大的灵活性，低温工艺，所以可以使用等离子体ALD利用遥感等离子实现低损伤通过程序控制的软件界面实现可控的，可重复的工艺ALD应用举例： 纳电子高k栅极氧化物存储电容器绝缘层铜连线间的高纵横比扩散阻挡层OLED和聚合物中的无孔钝化层钝化晶体硅太阳能电池微流体和MEMS中的高保形涂料纳米孔结构涂层生物微机电系统燃料电池产品范围：该FlexAL产品可为：FlexALRPT ，在单一系统中提供遥感等离子体和热ALD，可选择多种源和工艺FlexALRPX提供遥感等离子体和热ALD广泛...