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仪器网-专业分析仪器,检测仪器,实验室仪器设备交易网电子束蒸发镀膜仪
仪器网/ 电子束蒸发镀膜仪 2024-07-04 04:24:48
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  • 产地:郑州市
  • 供应商:郑州成越科学仪器有限公司
  • 简单介绍:产品系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。详情介绍:产品设备用途:用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构的科研及小批量生产。技术参数: 结构形式真空室采用U型箱体前开门,后置抽气系统真空室500×500×600mm2真空系统配置复合分子泵、机械泵、闸板阀极限压力≤6. 67×10-5Pa (经烘烤除气后);恢复真空时间45分钟可达到6. 67×10-4Pa (系统短时间暴露大气并充干燥 氮气后) 电子束蒸发源e型电子枪阳极电压:6kv、8kv;数量(套)1坩埚水冷式坩埚,四穴设计,每个容量11ml功率0一6 KW可调电阻蒸发源 (可选)电压5、10V功率电流300A...

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