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- 品牌：珀金埃尔默
- 供应商：天津海硕源环保科技有限公司
详细介绍PR500/510产品的详细资料 PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。用途● 去除光刻胶● 部品清洗● 界面活性处理● 微研磨● 硅晶圆，玻璃基板对应特征● 大口径（Φ215mm）石英反应腔● 小型一体化设计● 操作简单的触摸屏方式（PR510型） 低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。用途● 去除光刻胶● 部品清洗● 界面活性处理● 微研磨● 硅晶圆，玻璃基板对应特征● 大口径（Φ215mm）石英反应腔● 小型一体化设计● 操作简单的触摸屏方式（PR510型）
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- 型号： PR500/510
PR500/510产品高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm 低温等离子·经典桶型。 PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。用途 ● 去除光刻胶● 部品清洗● 界面活性处理● 微研磨● 硅晶圆，玻璃基板对应 特征 ● 大口径（Φ215mm）石英反应腔● 小型一体化设计● 操作简单的触摸屏方式（PR510型） 规格 型号PR500PR510模式DP模式，桶型控制部高频输出功率Max500W频率13.56MHz同调方式自动协调反应部反应腔石英 Φ215×305mm反应气体2系统（O2／CF4）控制手动触摸屏自动控制配管材质不锈钢、特氟龙外形尺寸W438×D520×H760mm参照规格书重量约60kg参照规格书电源单...
