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单晶体聚合物薄膜的表征
北京创新思成科技有限公司更新于：2009-10-14

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椭圆偏振显微实时成像分析技术是在传统的消光（null）和离消光（off-null）椭圆偏振法基础上，结合数字处理技术发展出来的旨在实时获取纳米尺度结构的表面或界面信息和纪录快速动力学过程的测量和显示技术通过把椭圆偏振法与显微镜法相结合，椭偏光学成相系统保留了传统椭偏法对厚度测量具有高灵敏度的优点，并且具有测量面积大取样速度快横向分辨率高和结果直观等优点其平面精度已经能够达到1µm，立体精度已提高到0.1nm，为其进入到生物分析和微电子等新的研究区域提供了可能椭圆偏振仪/成相系统/椭偏仪

内容节点: 概述; 实验/设备条件; 样品提取; 实验/操作方法; 实验结果/结论; 仪器/耗材清单

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