产品速递|半导体专用超纯水机ω系列
半导体芯片、半导体材料以及半导体器件制造过程中如果有痕量元素污染会影响硅片性能从而导致缺陷,因此在晶圆制造过程中都需要使用超纯水和高纯度化学品以Z大程度降低污染,在对应控制实验室也要求使用超纯水对半导体行业中所用的高纯化学品进行超痕量分析,为了保证检测结果,需要低背景超纯水。
将零杂质做到”极致”
对痕量分析、高灵敏度分析产生影响的超纯水水质,超纯水的质量影响微量分析和高灵敏度分析。无限纯净的“H2O",电阻率 18.2MΩ?cm,TOC≦1ppb,二氧化硅<0.1ppb,硼<10ppt。采用高品质下一代超纯水离子交换树脂。
将多用途做到“极致”
为了能够无污染地使用超纯水,功能方面也做到了极致。采用可进行单滴取水的高性能取水器,可做到定量取水、脚踏开关水采样。
将高配置做到“极致“
考虑到实验室的安装环境,简单是Z好的!纯水水箱内置的一体机包装,无需多余架台。 装置附有脚轮,易于移动和搬迁。
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