JEOL FE-SEM 的**光阑角控制镜
JEOL FE-SEM采用了**光阑角控制镜(ACL),这样,即使照射样品的探针电流很大,与从前相比, 也能获得很小的电子束斑。
大探针电流时,用ACL 能获得很小的电子束斑。
探针电流大的时候,束斑直径也变大。
样品: 金属材料 (Cu、Ag、Sn、Pb)
倍率:×15,000
加速电压: 5 kV
探针电流 50 nA
Z小化的分析体积使用较低的加速电压, 较大的探针电流Z小化的面分布速度可以减少对样品的损伤
高空间分辨率的微区元素面分布及快速测试
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