四探针测试仪RTS-4说明书
- 上传人: 北京恒瑞天创机电设备有限公司 |大小:24.5KB|浏览:1091次|时间:2018-10-09
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四探针测试仪HR/RTS-4技 术 指 标:测量范围电阻率:0.001~200Ω.cm(可扩展);方块电阻:0.01~2000Ω/□(可扩展);电导率:0.005~1000s/cm;电阻:0.001~200Ω.cm;可测晶片直径140mmX150mm(配S-2A型测试台);200mmX200mm(配S-2B型测试台);400mmX500mm(配S-2C型测试台);恒流源电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调数字电压表量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV;输入阻抗:>1000MΩ;精度:±0.1%;显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;四探针探头基本指标间距:1±0.01mm;针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%;探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;探针压力:5~16牛顿(总力);四探针探头应用参数(见探头附带的合格证)模拟电阻测量相对误差(按JJG508-87进行)0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字整机测量Zda相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%整机测量标准不确定度≤5%计算机通讯接口并口,高速并行采集数据,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒。连接电脑使用时带自动测量功能,自动选择适合样品测试电流量程;标准使用环境温度:23±2℃;相对湿度:≤65%;无高频干扰;无强光直射;产品关键词:四探针测试仪HR/RTS-4
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