MEMS 振镜 S12237-03P产品样册
- 上传人: 滨松光子学商贸(中国)有限公司 |大小:332.72KB|浏览:446次|时间:2020-03-10
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高性能、超紧凑型电磁驱动激光扫描微振镜(MEMS mirror) S12237-03P是一个融合了我司独特的MEMS工艺的电磁驱动振镜。通过在振镜下嵌入磁石来实现超小的尺寸。伴随这磁石发出的磁场,电流流动成线圈状环绕振镜,基于弗莱明(Fleming)的左手定论,产生的洛伦兹力(Lorentz force)将驱动振镜。滨松MEMS mirror可提供较宽的光偏转角,且只需低功耗便可获得较高的镜面反射率。
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