pco.edge 4.2 bi XU相机成像揭示有用的细节:埃赛力达科技PCO相机助力紫外线应用
- 上传人: 广州市元奥仪器有限公司 |大小:417.1KB|浏览:113次|时间:2023-12-08
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现代电子产品的特征尺寸不断缩小——接近甚至小于光的波长。为了检测更小的结构,设备制造商正在寻找新的方法来提高其系统的光学分辨率,其中一种方法是减小照明的波长。
在过去,已将光源移至可见光谱的蓝端,而如今一些应用正在转向近紫外、深紫外 (DUV) 甚至极紫外 (EUV)波段。
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