德国IPLAS MPCVD 微波等离子化学气相沉积系统
- 上传人: 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 |大小:700.3KB|浏览:779次|时间:2024-03-16
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德国 iplas 推出的微波等离子化学气相沉积系统
(MPCVD),其真空室的形式为金属腔-石英管一体式,压力操作范围从 10mbar 到室压范围,可制 备大尺寸、优质金刚石(工艺参数得当可制备出首饰级钻石)和高均匀性的金刚石厚膜。
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