超高真空光学显微镜/光谱仪测试系统
- 上传人: 北京卓立汉光仪器有限公司 |大小:1.2MB|浏览:4次|时间:2024-07-11
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光学显微镜的基本光学原理
将光学显微镜或光谱仪模组对接于超高真空系统,可以作为超高真空互联系统的检测节点之一,用于材 料和器件在不同制备环节之间对外延的薄膜或者转移沉积的二维材料等样品的质量进行快速无损检测。
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