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北京华测试验仪器有限公司
主营产品:铁电仪,热释电测试仪,介电温谱测试仪,功率放大器,静态压电系数d33
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卧式低压化学气相沉积炉管
  • 品牌:北京华测
  • 型号:SVCS
  • 产地:北京 海淀区
  • 供应商报价:面议
卧式低压化学气相沉积炉管用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅;用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。
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技术参数
品牌: 北京华测 型号: SVCS
详细介绍

卧式低压化学气相沉积炉管






产品简介

用于沉积高品质的n型掺杂或非掺杂的多晶硅或非晶硅;用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅。


主要技术指标

    炉管1:N型多晶硅以及非晶硅薄膜沉积工艺

气体:高纯N2、SiH4、PH3

    炉管2:低应力氮化硅,氮氧化硅薄膜

气体:高纯N2、NH3、N2O、SiH2Cl2

    温度:700-900 °C

    硅片尺寸:3英寸、4英寸、6英寸圆片;50片/炉


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